シランとは何ですか?

- Apr 03, 2018 -

ケイ素と水素の化合物であるシランは、メチルシラン(SiH4)、エチルシラン(SI2H6)およびいくつかのより高度なシリコーン水素化合物を含む広範な化合物の総称です。 現在、最も使用されているものはメチルシランである。

メチルシランは一般にシランと呼ばれる。 シリコン成分源としてのシランは、高純度ポリシリコン、単結晶シリコン、微結晶シリコン、アモルファスシリコン、窒化シリコン、酸化シリコン、異種シリコン、種々の金属シリサイドの製造に使用することができる。 その高純度と精密な制御のために、それは他の多くのシリコン源に置き換えることができない重要な特殊ガスになっています。 シランは、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、ガラスおよび鋼のコーティングの製造のためのマイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス産業で広く使用されており、これまで世界で顆粒状の高純度シリコンの大規模生産の唯一の中間製品である。 高度なセラミックス、複合材料、機能性材料、生物材料、高エネルギー材料などの製造を含む、シランのハイテクアプリケーションはまだ新興であり、多くの新技術、材料およびデバイスの基礎となっています。 シランは、独特の自発的燃焼および爆発物としても知られている。 シランは、非常に広い自発点火範囲と非常に強い燃焼エネルギーを有し、それが危険なガスであると判断する。


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